射频探针台全球的晶圆探针台制造商厂家

射频探针台的晶圆探针台制造商厂家

CBTZ半自动探针台
主要技术参数

可测片型：3 寸、 4寸、5寸，6寸、8寸

测试硅片单元尺寸：20—200 mil

定位精度：≤ ±0.01mm/110mm

自动对准精度：±0.01mm

误测率：≤ 1 ‰

全自动对位时间：≤ 15 s

测试速度 45 mil 5.0 pcs/s

50 mil 4.6 pcs/s

87 mil 4.2 pcs/s

步进分辨率：0.001

Z向行程：0～5mm 可调

承片台转角θ调节范围：±20o