lintec数字质量流量控制器MC-3000L

lintec数字质量流量控制器MC-3000L

lintec数字质量流量控制器MC-3000L

数字质量流量控制器，具有 ±1% SP 。

LINTEC的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现的流量测量。 它可抑制由于传感器受热而导致的老化劣化，甚至可以控制流量，即使是臭氧等高度可降解的气体。

作为选项，、数字质量流量控制器可以处理液化气、微流量 F.S.、宽范围、表面间距和接头名称。

长处

• 准确度±1%SP

• 工作温度 5~50°C

• 金属密封件

• 清洁（颗粒）

• 环境温度补偿传感器

• RS-485 通信

选择

• 微流 F.S.

• 兼容液化气

• 宽

使用示例

半导体制造预处理

由于CVD（化学气相沉积）ALD沉积设备和蚀刻设备中使用高活性气体，因此具有高耐腐蚀性金属密封的气体质量流量控制器至关重要。

此外，前驱体在常温常压下含有大量液化气体，因此具有耐热性且不易液化的阀门结构很重要。 MC-3000L质量流量控制器可从液化气选项中选择，高工作温度为50°C（可选55°C）。

分析器

分析仪可能需要控制分钟流速，但一般质量流量控制器的小F.S.为5 SCCM，无法控制分钟流速。 MC-3000L质量流量控制器可选配F.S.1SCCM或更低尺寸。 详情请联络我们。

此外，质量流量控制器MC-3000L还标配低死体积隔膜阀。

lintec数字质量流量控制器MC-3000L

规格

温度	小压差	大压差	精度	控制范围	低标准	高 F.S.	密封
5~50°C	50kPa	300kPa	±1%自保	2~F.S.	5SCCM	400SLM	金

* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过选项进行更改。