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EPA & ULPA过滤器的构造: 分离式过滤器、 一体式过滤器、 包装物粘合成过滤网外框----外框与气密垫片组装成最终过滤箱体(Pack is glued into a frame - Frame is gasketed to formfinalassembly),HEPA/ULPA 过滤器是专门为去除多种空气中的污染成分而设计的,可以去除的成分包括:标准粉尘卷烟烟气细菌(细菌大小:500到0.3微米)煤灰、花粉、放射性微粒、杂质离子(会影响到集成电路的速度)